一键式全尺寸测量机
本设备配有由直线电机、高精度导轨、产品载盘以及传感器和缓冲块等组成的运动平台，可实现 X 轴的运
动，重复定位精度可以达到 0.1um，满足高速度、高精度的检测位置要求。
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